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Solmates PiezoFlare 800 脈沖激光沉積(PLD)設備【德國】

交易截止日期:2018年10月31日收藏

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受客戶委托,出售一臺Solmates PiezoFlare 800 脈沖激光沉積(PLD)設備。資產位于德國。


產線于約6個月前停止生產

立即接受報價!


主要設備:

- Solmates PiezoFlare 800脈沖激光沉積(PLD)設備

年份:2013

設備儲存于100級潔凈室中

原用于MEMS生產

最大晶圓 150mm — 200mm.  


- 制程:

壓電MEMS: PZT (PbZrTiO3, LaNiO3)

氣體敏感性:金屬氧化物 (CuO, SnO2, ZnO, In2O3)


- 主要技術參數:

基板尺寸:6" -- 8"

4 targets,可調

最高襯底溫度:800 °C

制程壓力:0.5 –0.005 mbar with O2, Aror N2

液滴捕集器,減少晶圓表面微粒

248 nm KrF-laser (100 Hz, 700 mJ/pulse, 25 ns pulse duration)


部分現場照片如下,您可點擊圖片進入我司全球網站了解詳情并參與交易:

  


如需看貨,請提前預約


項目聯系人:

Andy Hackett

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